नाशिक जिल्ह्यात समाविष्ट असलेला प्रदेश पूर्वी अंशतः खानदेश जिल्ह्यात आणि अंशतः अहमदनगर जिल्ह्यात होता.
येवला आधी पटोदा तालुका म्हणून ओळखले जात होते. 1837-38 मध्ये, अहमदनगर जिल्ह्यातील काही भाग सिन्नर, चांदवड, दिंडोरी, नाशिक, इगतपुरी आणि पेठ
या राज्यांसह अहमदनगरमध्ये एका उप-जिल्हाधिकारीपैकी बनले. तथापि, नाशिकचे उप-जिल्हाधिकारी 1856 मध्ये रद्द करण्यात आले आणि अहमदनगर जिल्ह्यात त्याचे तालुके समाविष्ट झाले. 1861 मध्ये, सिन्नर अंतर्गत निमर पेटा व दिंडोरी अंतर्गत वाणी पेटा रद्द करण्यात आला आणि निफाड येथील मुख्यालयात एक नवीन उपविभाग तयार झाला. त्र्यंबक मध्ये कर्नाई तालुक्याचे मुख्यालय इगतपुरी गावात 1861-62 मध्ये स्थलांतरित करण्यात आले आणि तालुक्याचे नाव कर्नाई ते इगतपुरी तालुका झाले.
1869 मध्ये अहमदनगर जिल्ह्याचे आठ उपविभाग (उदा. नाशिक, सिन्नर, इगतपुरी, दिंडोरी, चांदोर, निफाड, येवला आणि अकोला) आणि खानदेश जिल्ह्याचे तीन उपविभाग (नांदगाव , मालेगाव आणि बागलाण) सह नाशिकला पूर्णत: विकसित जिल्हा म्हणून घोषित करण्यात आले. थोड्याच काळानंतर अकोला तालुका अहमदनगरला परत आला. 1875 मध्ये बागलाण दोन तालुक्यांमध्ये विभागले गेले, बागलाण किंवा सटाणा आणि कळवण. पेठ राज्य ब्रिटिश प्रदेश झाले आणि 1878 मध्ये एक उपविभागात रुपांतर झाले.
1901 आणि 1948 च्या दरम्यान जिल्हा किंवा तालुका सीमारेषेत कोणतेही मोठे बदल नव्हते.
1949 मध्ये भारतीय राज्यांचे विलीनीकरण झाल्यानंतर सुरगाणा महल 1949 साली अस्तित्वात आले. 1950 मध्ये नांदगाव तालुक्यातील 11 भागांत असलेल्या गांवांना औरंगाबाद जिल्ह्यात हलवण्यात आले. या जिल्ह्यात सूरत जिल्ह्यातील दोन गावे (साल्हेर व वाघंबर) जोडली गेली. चार गावे पश्चिम खानदेशात किंवा सध्या धुळे जिल्ह्यात हस्तांतरीत करण्यात आली.
1896 मध्ये नाशिक एक स्वतंत्र जिल्हा म्हणून स्थापन झाले. 1896 पासून जिल्हाधिकारी म्हणून नाशिक येथे त्यांचे मुख्यालय म्हणून कार्यरत होते. आतापर्यंत 102 जिल्हाधिकारीनी पद धारण केले आहे. जिल्हाधिकारी म्हणून पदभार ठेवणारे पहिले भारतीय 36 वे जिल्हाधिकारी श्री. कोठावाला होते जे आयसीएस होते. तेव्हापासून 13 तहसीलचा जिल्हा अस्तित्वात होता आणि 26 जून 1999 पासून दोन नवे तहसील देवळा आणि त्र्यंबकेश्वर बनले होते. देवळा मालेगाव, कळवण आणि बागलाण (सटाणा) तालुक्यातून निर्माण करण्यात आले. नाशिक, इगतपुरी आणि पेठ तालुक्यापासून त्र्यंबकेश्वरची स्थापना झाली. नाशिक जिल्ह्याचे क्षेत्रफळ 15,530 चौ.कि.मी. आहे.